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石墨舟為何返工原因及解決措施PECVD石墨舟的制造流程一般分為制絨、擴(kuò)散、去PSG和刻蝕、PECVD、絲網(wǎng)印刷、分選六個(gè)制程，其中PECVD是影響太陽(yáng)電池片外觀的重要因素之一，下面上海石墨制品加工公司上海鴻鈞碳素就來(lái)給大家分享一下如何降低PECVD返工率及提高電池片的外觀質(zhì)量，希望能對(duì)大家有所幫助。 1.PECVD返工片情況 對(duì)于晶硅太陽(yáng)電池PECVD鍍膜，主要是指在450℃，以石墨舟為載體，在真空狀態(tài)下通過(guò)射頻電源激發(fā)SiH4和NH3輝光放電產(chǎn)生等離子體，在硅片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成Si3N4膜的過(guò)程。鍍膜條件相對(duì)較多，過(guò)程比較復(fù)雜，因此產(chǎn)生返工片的原因也較多，根據(jù)實(shí)際出現(xiàn)的返工片的外觀情況大致可分為：?jiǎn)芜吷?、邊角色差、中心色差、斑點(diǎn)、水紋印，劃痕、硅脫和異常放電片等。 2..PECVD返工原因及措施 鍍膜過(guò)程中的溫度、石墨舟、射頻功率和氣體流量等因素，都是影響鍍膜均勻性的重要原因，因而不同原因造成的返工片，對(duì)應(yīng)的解決方法也是有區(qū)別的。 （1）邊角色差 硅片邊角顏色異常，多與相對(duì)應(yīng)位置的石墨舟片的間距有關(guān)，間距不同，導(dǎo)致電場(chǎng)變化，從而引起此處鍍膜速率異常，顏色不同于其他位置，形成色差。常見(jiàn)原因一般有兩種，一是石墨片之間的陶瓷隔塊破損或缺失；二是對(duì)應(yīng)位置的陶瓷桿松弛或斷裂。 解決措施：檢查對(duì)應(yīng)位置的陶瓷隔塊和陶瓷桿，更換或維修。且每次插片前，對(duì)陶瓷隔塊和陶瓷桿逐一檢查，可基本杜絕此類(lèi)事情發(fā)生。 （2）中心色差 硅片中心膜厚薄于周邊，形成色差，一般有兩種原因，一是工藝氣體流量不足，導(dǎo)致鍍膜時(shí)硅片中心位置產(chǎn)生的等離子體數(shù)量少，鍍膜速率慢，形成色差；二是定位卡點(diǎn)不合適或磨損嚴(yán)重，影響硅片與石墨片的接觸，導(dǎo)致硅片與硅片間的電場(chǎng)變?nèi)?，鍍膜速率由硅片邊緣至硅片中心逐漸變慢，形成色差，這種情況一般出現(xiàn)即會(huì)產(chǎn)生2片返工片。 解決措施：（1）檢查、清理進(jìn)氣孔旁的碎硅片，防止堵塞；（2）檢查、維修對(duì)應(yīng)位置的定位卡點(diǎn)。 （3）劃痕 劃痕多源自手動(dòng)下片，一種原因?yàn)橄缕^(guò)程中將吸筆插入石墨舟貼住硅片后，仍有繼續(xù)向下運(yùn)動(dòng)的動(dòng)作，導(dǎo)致產(chǎn)生劃痕或吸筆?。涣硪环N是因定位卡點(diǎn)磨損嚴(yán)重或安裝不合適，導(dǎo)致硅片被牢牢卡在與定位卡點(diǎn)接觸的位置，用吸筆未能一次性將硅片取出，產(chǎn)生劃痕。 解決措施：對(duì)于第一種情況，首先將吸筆吸力調(diào)至合適，其次，將下片動(dòng)作分解成這樣一個(gè)過(guò)程：將吸筆插入石墨舟至合適深度，用吸筆頭貼住硅片，吸住硅片，向上提出吸筆。這樣調(diào)整后，一般不會(huì)出現(xiàn)因這種情況導(dǎo)致的劃痕。 （4）硅脫 硅脫多是由于下片過(guò)程中硅片與石墨舟陶瓷隔塊或定位卡點(diǎn)的碰撞導(dǎo)致。除去人為因素外，還有吸筆和定位卡點(diǎn)等因素。 解決措施：（1）清理吸筆頭和吸筆墊，調(diào)整吸筆吸力；（2）檢查、維修對(duì)應(yīng)位置的石墨舟卡點(diǎn)。 （5）異常放電 這里所說(shuō)的異常放電是指相鄰電極被硅片導(dǎo)通，在此附近形成強(qiáng)大電場(chǎng)，產(chǎn)生大量等離子體，從而在這部分區(qū)域形成彩虹片的過(guò)程。通常也有兩種原因，一是鍍膜過(guò)程中，舟內(nèi)的碎硅片搭到相鄰電極上；另一種是PECVD爐內(nèi)底部碎硅片堆積多，在石墨舟被放入爐內(nèi)后，爐內(nèi)底部碎硅片導(dǎo)通了相鄰的兩片電極。 上海鴻鈞碳素材料有限公司主營(yíng):POCO石墨,EDM電極,石墨制品加工,半導(dǎo)體制品等,廠家直銷(xiāo),實(shí)力雄厚,價(jià)格合理,發(fā)貨快,售后服務(wù)周到,有美國(guó)，日本進(jìn)口石墨,石墨紙,EDM放電石墨,石墨制品采購(gòu)需求,請(qǐng)聯(lián)系鴻鈞,訂購(gòu)熱線:0512-57677748.
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