一、清洗前的確認(rèn)
1、石墨舟在使用超過(guò)100次時(shí)需要操作人員及時(shí)檢查鍍膜狀況，出現(xiàn)鍍膜異常，需要進(jìn)行清洗確認(rèn)。硅片在石墨舟內(nèi)正常鍍膜的顏色是藍(lán)色，片內(nèi)出現(xiàn)非藍(lán)色、多種顏色或片與片間 顏色差異較大，都是鍍膜異常，需要及時(shí)確認(rèn)異常原因。
2、由工藝人員對(duì)石墨舟的鍍膜情況進(jìn)行分析后，確定石墨舟是否需要清洗以及卡點(diǎn)是否需要更換，將需清洗的石墨舟交由設(shè)備人員清洗。
3、石墨舟損壞后，由生產(chǎn)人員取出石墨舟內(nèi)所有的硅片，并使用CDA（壓縮空氣）對(duì)石墨舟內(nèi)碎片進(jìn)行清理，完畢后設(shè)備人員將其抬入已經(jīng)配好一定比例HF溶液的酸槽中進(jìn)行清洗。
二、石墨舟的清洗
1、打開(kāi)酸槽排水閥，待廢酸排盡，用水槍對(duì)酸槽進(jìn)行沖洗。
2、關(guān)上閥門，將石墨舟放進(jìn)酸槽中，打開(kāi)進(jìn)水閥門，往酸槽里放入純水直到水能夠淹沒(méi)石墨舟為止，關(guān)閉水閥。然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗機(jī)的窗戶關(guān)好，然后開(kāi)始清洗（要在酸中浸泡6個(gè)小時(shí)左右）。清洗過(guò)程中戴好防酸堿手套，將石墨舟從酸槽中取出查看是否清洗干凈，如果到時(shí)間還未洗干凈，再繼續(xù)清洗，直到干凈為止。
3、清洗干凈之后，放入水槽，用水槍沖洗后關(guān)上排水閥，放水，以水沒(méi)過(guò)舟為準(zhǔn)， 漂洗一般需2個(gè)小時(shí)。
4、清洗完畢后，將石墨舟從水槽中取出，用氣槍吹掉表面明顯的水珠。
5、將石墨舟抬入專用烘箱，關(guān)上烘箱門鎖緊；打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)—風(fēng)機(jī)開(kāi)關(guān)—升溫開(kāi)關(guān)—報(bào)警開(kāi)關(guān)；溫控表設(shè)定溫度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小時(shí)（經(jīng)過(guò)測(cè)試石墨舟在烘箱烘干后與使用前的石墨舟無(wú)差別方可取出）。
6、設(shè)定溫度20度，一般降溫半個(gè)小時(shí)烘箱里的石墨舟達(dá)到常溫，可以取出。
7、將石墨舟上的所有螺母扭緊并檢查石墨舟所有的陶瓷件，需要更換工藝點(diǎn)的石墨舟，取出后需要入維修間專用貨架等待維修。
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