石墨舟該如何清洗 ？

　　　　　　　　　　　　　　　石墨舟HJ清洗

1>.一般舟在運(yùn)行 100 至 120 次后就應(yīng)該進(jìn)行清洗,次數(shù)達(dá)到后，硅片會(huì)發(fā)紅。 這是因?yàn)橹凵系?SiN 會(huì)隨著運(yùn)行次數(shù)的增加而增加，影響舟的正常使用。

2>.在室溫條件下 (<40°C)，將舟放入32升HF酸中，大約高過石墨舟1.5cm左右。

濃度是 10%， 腐蝕時(shí)間為 10-12小時(shí)。低濃度條件下，腐蝕槽會(huì)被產(chǎn)生的 SiN 顆粒污染，因此需要進(jìn)行定期的過濾維護(hù)。 濃度高于 10%會(huì)對(duì)操作人員造成危險(xiǎn)。其他部件應(yīng)該被分開放入腐蝕槽內(nèi)并且不可互相接觸，這樣 HF 酸就可以腐蝕到任何部位，這對(duì)于石墨連接塊而言更為重要。

3.在 2 號(hào)純水槽內(nèi)將其用純水漂洗3次，每次2-3小時(shí)。

用 PH-試紙檢查流動(dòng)的水是不是中性的（基本數(shù)值5-6弱酸，為正常），必須保證蝕刻殘?jiān)⊿iF4）都已經(jīng)被洗掉，任何蝕刻殘?jiān)粠霠t管都可能引起沾污或者工藝問題。 可以在石墨上看到白色的一層就是殘?jiān)渌考急仨毞珠_放置這樣可以避免酸液殘留在其中。

4.用氮?dú)鈽尨蹈?，?120-150℃條件下，將石墨舟烘干10-12小時(shí)。

接著進(jìn)行鍍舟工藝，花費(fèi)3小時(shí)20分-4小時(shí)。鍍舟工藝與普通工藝不同，在鍍舟結(jié)束后，先進(jìn)行空鍍，空鍍后再進(jìn)行插片使用。

5.酸洗排酸時(shí)，噴淋要打開。水洗排水時(shí)，鼓泡要打開，讓其流動(dòng)。一般酸洗10-12小時(shí)可洗干凈，如果沒洗干凈可先嘗試補(bǔ)酸4升，直到清洗干凈為止。還是沒法洗凈的話，需要嚴(yán)查清洗時(shí)間是否符合標(biāo)準(zhǔn)。